選擇適合特定應用場景的皮拉尼真空計，核心邏輯是 **“場景需求→核心參數匹配→型號篩選→實操驗證"**，需圍繞測量范圍、精度要求、氣體介質、環境條件、設備兼容性五大核心維度，結合工業場景的實際約束（如成本、維護難度、配套設備）層層篩選。以下是結構化選型框架，附日本主流型號適配案例，滿足采購、技術評估等專業需求：
選型前需先厘清 4 個關鍵問題，避免盲目匹配參數：
單一氣體（空氣 / 氮氣 / 氬氣等已知氣體）→ 常規型號（默認空氣 / 氮氣校準）；
多氣體混合（如半導體刻蝕的 CF?+O?、化工反應氣體）→ 支持多氣體校準曲線的型號；
腐蝕性氣體（Cl?、F?、NH?等）→ 防腐蝕燈絲（氮化硅涂層）+ 耐蝕探頭外殼（哈氏合金 / SUS316）；
易污染氣體（油氣、粉塵、鍍膜蒸汽）→ 防污染燈絲 + 配套過濾器（油霧 / 粉塵過濾器）。
中低真空（10?1～10?? Pa）→ 常規皮拉尼真空計（單一量程即可覆蓋）；
寬量程（大氣壓～10?? Pa，如 “常壓抽真空" 全流程）→ 寬量程皮拉尼（兼顧常壓與低真空）；
超高真空（＜10?? Pa，如質譜儀、電子顯微鏡）→ 不可單獨使用，需與電離真空計組合（皮拉尼負責中低真空段，電離負責超高真空段）。
工業控制（如真空泵配套、真空干燥箱）→ 精度 ±2%～±5% FS，響應時間 100～200ms；
精密設備（如半導體鍍膜、刻蝕）→ 精度 ±1%～±2% FS，響應時間＜50ms（快速捕捉壓強波動）；
動態場景（如氣體快速切換、抽氣初期）→ 響應時間＜80ms，支持動態壓強補償算法。
高溫環境（如真空熱處理爐，環境溫度＞80℃）→ 耐高溫探頭（外殼耐 300℃以上）；
振動環境（如真空泵出口、生產線設備）→ 耐振動燈絲（粗絲設計，30～50μm）+ 防沖擊結構；
電磁干擾環境（如射頻電源附近）→ 帶電磁屏蔽 + 差分信號輸出（RS485）；
安裝空間受限（如小型分析儀器）→ 小型化探頭（φ6×30mm 以下）。
根據場景需求，針對性匹配以下核心參數，排除不符合的型號：
精度標注：優先選擇 “工作區間精度"（如 10?3～10?1 Pa 時 ±1.5% FS），而非僅標注 “滿量程精度"（邊緣量程可能誤差達 ±10%）；
響應時間：需確認 “90% 響應時間"（行業標準），避免混淆 “初始響應時間"（未穩定的信號）；
氣體校準：多氣體型號需確認是否包含目標氣體（如半導體場景需確認是否支持 CF?、SF?），而非僅標注 “多氣體兼容"。
結合工業常見場景，直接匹配對應的選型方案與日本品牌型號，提高決策效率：
優先型號：HORIBA PG-300（日本堀場）、ULVAC GP-200（日本愛發科）；
關鍵特性：恒溫模式 + 參考腔（溫度補償）、內置 10 + 種工藝氣體校準曲線、防污染鉑絲燈絲、RS485 數字信號（抗干擾）；
配套措施：加裝油霧 / 粉塵過濾器，每 3～6 個月校準一次。
優先型號：ULVAC GP-100（寬量程版）、TOKYO KEISO TM-201（耐溫款）；
關鍵特性：粗絲鉑絲燈絲（耐污染）、耐高溫探頭外殼（SUS316）、帶導流罩（防蒸汽沖擊）；
配套措施：每 2 個月更換過濾器，每 6 個月清潔 / 更換燈絲。
優先型號：TOKYO KEISO TM-201（恒流模式）、SHIBATA SV-100（日本柴田科學）；
關鍵特性：結構簡單、MTBF＞10 萬小時、模擬信號輸出（4-20mA）；
配套措施：每 12 個月校準一次，安裝時遠離熱源。
氣體：腐蝕性氣體（Cl?、NH?）+ 混合氣體；
真空范圍：10?1～10?? Pa；
精度：±2%～±3% FS；
要求：耐腐蝕、防泄漏。
優先型號：HORIBA PG-300 Corrosion-Resistant（耐腐版）、ULVAC GP-200HF（哈氏合金外殼）；
關鍵特性：氮化硅涂層燈絲（防腐蝕）、哈氏合金探頭外殼、密封泄漏率＜10?? Pa?m3/s；
配套措施：定期用無水乙醇清潔探頭，避免腐蝕性氣體殘留。
氣體：氦氣 / 氮氣（單一氣體）；
真空范圍：10?2～10?? Pa；
精度：±1% FS；響應時間＜50ms；
要求：小體積、低噪聲、無死體積。
優先型號：HORIBA PG-100Mini（小型化）、ULVAC GP-300（低噪聲版）；
關鍵特性：微型探頭（φ4×25mm）、低噪聲電路（數字濾波）、無死體積接口；
配套措施：與儀器同步校準（每 6 個月一次），避免振動影響。
氣體兼容性驗證：向廠家提供實際氣體成分，確認型號是否內置對應校準曲線，或能否提供修正系數；
精度實測驗證：要求廠家提供 “工作壓強區間內的精度報告"（如 10?3 Pa 時的實際誤差），而非僅看滿量程精度；
設備兼容性驗證：確認輸出信號與現有 PLC/DCS 匹配（如日系設備常用 Modbus-RTU 協議），探頭接口尺寸與真空系統一致（如 KF16/KF25 法蘭）。
誤區 1：追求 “滿量程精度" 而忽略工作區間→ 正確做法：重點關注實際工作壓強段的精度（如鍍膜機常用 10?3～10?2 Pa，需確認該區間誤差）；
誤區 2：多氣體場景選常規型號→ 正確做法：必須選支持多氣體校準的型號，否則誤差可達 1～2 個數量級；
誤區 3：超高真空場景單獨使用皮拉尼→ 正確做法：組合電離真空計（皮拉尼負責預抽真空段，電離負責超高真空段）；
誤區 4：忽略環境溫度影響→ 正確做法：環境溫度波動＞±5℃時，必須選帶溫度補償的型號（如 ULVAC GP-200 內置 PT100）。
高精度場景（半導體、分析儀器）：優先選擇日本yi線品牌（ULVAC、HORIBA），雖成本較高（約 5000～15000 元 / 臺），但穩定性和精度有保障；
常規工業場景（真空泵、干燥箱）：選擇性價比型號（TOKYO KEISO、SHIBATA），成本約 2000～5000 元 / 臺，滿足基本控制需求；
特殊場景（腐蝕性、高污染）：不建議犧牲材質和防護功能降低成本，否則維護頻率和更換成本會更高。
皮拉尼真空計的選型核心是 “場景導向 + 參數精準匹配"：
先明確氣體介質、真空范圍、精度 / 響應速度、環境條件 4 大核心需求；
再匹配測量范圍、精度、氣體兼容性、材質、輸出信號等關鍵參數；
最后結合場景選擇對應品牌型號（日本品牌優先適配日系設備），并通過驗證動作規避風險。
13717032088
產品分類 / PRODUCT
更新時間：2025-12-01 
瀏覽次數：94
上一篇：皮拉尼真空計的測量精度受氣壓影響嗎
返回頂部
我的位置：
地址：龍華新區梅龍大道906號創業樓
郵箱：ylx@tamasaki.com
聯系人：袁蘭香